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半自动双轴减薄机--巴斯勒行星减速机

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半自动双轴减薄机--巴斯勒行星减速机

发布日期:2020-09-21 作者: 点击:


半自动双轴减薄机
半自动双轴减薄机是一款安装两个砂轮轴的高精度研削设备,采用巴斯勒斜齿高精度行星减速机,采用手动装片方式,配置自动厚度测量和补偿系统,产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。


本减薄设备主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶体、蓝宝石、其他半导体材料等非金属和金属的脆硬性材料精密零件的高速减薄。由工件吸盘,吸盘主轴及驱动器组件,砂轮,砂轮主轴及驱动组件,丝杆导轨进给组件及其他辅助配件构成.。
吸盘:
吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。
吸盘主轴驱动方式为变频调速,逆时针旋转,吸盘主轴转速3-140转可调,吸盘转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式相应改变。
砂轮
砂轮的大小是根据吸盘直径大小来定的,一般有150-170-210-300mm的规格,砂轮的颗粒度是根据客户对工艺的要求定制。
砂轮主轴及驱动组件
砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
丝杆进给组件
本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,加上巴斯勒行星减速机,兼顾设计可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。


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